净化车间、西安净化工程、导体集成电路要求的空气洁净度的等级--西安科正环境科技有限公司

责任编辑：未知发表时间：2020-10-20

西安净化工程集成电路生产环境要求的空气洁净度等级主要取决于集成电路的集成度，不同工序的空气洁净度等级是依据可能污染的概率和对器件的潜在故障确定的。例如在集成电路生产的光刻工序中，硅片暴露在生产环境中，污染概率很高时器件的不合格率也会很高，因此为防止出现这种危害，目前在超大规模集成电路的洁净厂房中通常采用微环境，把工艺核心区隔离开，在微环境的隔离区内达到所要求的空气洁净度等级和环境控制要求（温度、相对湿度、压力）。

西安净化工程在国际标准ISO14644-4中附录（参考资料）表B-2介绍“微电子用洁净室实例”[5],见表2-7。表中的工作区（加工核心区）是由人和/或自动处理设备对晶片进行加工的区域。为保护工作区内产品免被污染，通常采用单向流或微环境把人与暴露的产品隔离开。公用设施区是设置晶片加工设备无操作人员的接口部分，此区域内所进行的工作一般不暴露于生产环境汇总。工作区与公用设施区一般是相邻布置。服务区是既无产品又无加工设备的区域，通常靠近工作区和公用设施区。

①西安净化工程在制定最佳设计条件之前，应该详细说明与ISO等级有关的占用状态。
②表列的气流流型表示该等级的洁净室的气流特性：U=单向流；N=非单向流；M=混合流流型（U和N的混合）。
③平均气流速度通常适用于洁净室内单向流的流型。对单向流流速的要求取决于被控空间形状和热气流温度。单向流流速不是指过滤器正面风速。
④每小时换气次数用于非单向流和混合流。单位面积送风量的推荐值适用于层高为3.0m的洁净室。
⑤应该考虑采用严格的密封措施。
⑥污染源和待保护区之间有效分隔。可以用隔板或气流屏障。

西安科正环境科技有限公司是一家集成设计、研发、生产、安装、检测等综合性的新型技术性企业。企业致力于净化工程、实验室整体建设EPC总包、实验室仪器设备、实验室设计装修、净化水系统等工程项目。包括净化系统的设计、制造、安装、检测、实验室设备的生产和研发、安装、实验室信息管理技术开发与运用等。企业技术力量雄厚，生产和测试设备精良。凭借资深优厚的的专业经验及技术实力，在全国各地的石油化工、冶金冶炼、药检质检、环境监测、进出口检疫、食品安全、医疗卫生、航天航空等各行业及其它高新科技产业领域中，设计承建了不同类型的净化洁净系统工程，实验室、无菌实验室、微生物实验室（百级、千级、万级等）。提供了满足FS209E联邦标准、ISO/TC209国际标准和GMP专业规范及GB要求的洁净系统工程的设计、制造、安装、调试、检测等综合性成套服务，并配套制作系列高效空气过滤器、风淋室、医用净化工作台、医用洁净层流罩、高效过滤送风口、紫外线杀菌净化系统、空气自净器、实验室（P3）、实验台及进出口实验仪器设备等产品。

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